腔室标准功能12"或16"公称直径 1/8"壁厚。
超纯304L不锈钢精密焊接。
CF法兰端口密封，内表面电解抛光，应用与超高真空系统。
最高温度≤450℃
所有端口对焦球心，对焦角度公差±1°
两种标准规格可供选择，可接受非标定制，如有需求可咨询销售工程师。
