在（高）真空环境下，使用氦气作为泄漏测试中使用测试气体，以便发现大量不同测试对象上的泄漏点。泄漏测试是无损检测方法之一。泄漏测试在工业制造和质量控制中被大规模使用。
在真空系统中，通过用泵抽空真空设备并在泵后面悬挂质谱仪，将氦气用作最利于扩散的泄漏检测气体。如果用氦气吹入设备 - 在外部，仅在局部查找泄漏 - 质谱仪可用于检测氦气可能进入设备并测量泄漏率。
泄漏是产品或技术系统中的一个孔，固体、液体或气体可以通过该孔意外进入或退出。泄漏可能导致整个技术系统的故障。泄漏率是泄漏大小的量度。
使用测试气体进行的泄漏测试基于在测试项目和检测设备之间产生压差。这可以通过相对于另一侧增加或减少被测设备一侧的压力来实现，或者通过减少和增加压力的组合来实现。在发生泄漏的情况下，从高压侧到低压侧的气流是恒定的。如果低压侧有流动气体检测装置，可以定性或定量检测泄漏。
测试气体氦在测试气体方法中占主导地位，因为它仅以约 5 ppm 的低天然浓度出现。作为惰性气体，它在正常条件下不发生任何化学反应，因此非常可靠。在测试过程中，它可以以高度的选择性和无交叉敏感性进行检测。
使用永久设置为氦气质量 4 的质谱仪作为检测装置，它与相关的气体分配和真空系统一起形成操作简单的紧凑型检漏仪。
质谱仪的工作压力 <10−4 mbar。在商用泄漏检测设备中，质谱仪总是与真空系统相结合，该系统至少由一个机械前级泵、一个高真空泵、压力测量设备和许多压力相关的控制阀组成。最先进的技术还包括可以校准检漏仪的集成测试漏孔。
在开始泄漏测试之前，必须确保测试项目清洁干燥。
由于蒸汽或液体残留物导致的排气延长了泵送时间，从而延长了测试时间。
进入的杂质会缩短测量装置的使用寿命。
这种快速而灵敏的泄漏检测方法由合格人员在内部执行。
