真空的通俗定义指的是空间中的压力低于标准大气压力时的状态。真空阀指的是用在真空系统中的阀门，其作用通常为隔离真空区域（如工艺腔室） 或控制气体进出量。由于真空环境基本贯穿半导体制造过程始终，因此真空阀在 半导体设备中也有着普遍而广泛的应用。真空阀和普通阀门在类型上没有本质区别，按作用划分主要有隔离阀、控制阀 （调节阀）、传输阀、泄压阀/排气阀、气体计量阀、止回阀等，在半导体设备的 真空系统中尤其是隔离阀、控制阀、传输阀应用较多；其中，隔离阀和控制阀根 据工作方式又包括闸阀、角阀、蝶阀、球阀、摆阀等。
具体来看，隔离阀起隔绝/接通作用，如可用于连接真空泵，在其运作与否时起 到禁止/允许气体进入真空泵系统的作用；控制阀主要起到控制气体流量和压力 的作用；传输阀则可用于晶圆在腔体之间或腔体和 Load Lock 之间的传输。
蝶阀的阀瓣呈圆盘形，围绕其中轴旋转，旋角大小便是阀门的开闭度，既可作为 隔离阀，提供与闸阀同样可靠的真空隔离的同时对占用空间要求较低，适用于紧 凑空间的隔离；又可作为控制阀，实现快速精确的调节。
球阀的启闭件是带有圆形通道的球体，绕垂直于通道的轴线旋转，球体随 阀杆转动从而达到启闭通道的目的。球阀适用的压力范围广，从高真空到低真空 等均可使用，同时在带有腐蚀性介质的或者高温的系统中也均可适用。
传输阀是用于连接真空腔室的长方形截面的阀门，可将物体（如晶圆）从一个腔 室传送到另一个腔室，尤其是在传输腔和工艺腔之间需要用到，因此传输阀是多 腔室系统的理想选择。
