应用于半导体和其他加工领域等高真空或超高真空系统中,对真空泵和腔体之间的闭合。
多种法兰接口连接方式CF、KF、ISO-K、ISO-F等。
真空度:1.0*10 -9Torr,
温度范围:-25℃~≤205°C
材质:SUS316L
表面处理:内外电解抛光。
专利设计,最小的外形尺寸,提供最大的流导。
寿命:10万次开启。
提供手动或气动两种驱动方式。
手动阀端口在3"及及以下的型号无曲向手柄。
气动阀端口在1.5" 及壹拾径或更大的型号都包含用于位置指示的磁性开关。
气动阀在动力损失或气压损失的情况下保持关闭。
可提供2D\3D模型,接受非标定制。如有需求可咨询销售工程师。
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