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用于将真空腔室气体排放到大气中，也可用作向真空腔体输送腔体的入口。
多种气管终端接口形式MVCR\FVCR\LOK\TUBE。
气管长度可按照需求定制
CF 法兰：-60°C 至 315°C
法兰：SUS304
阀门：SUS316
真空度:1.0 x 10 -9Torr
可提供2D\3D模型，接受非标定制。如有需求可咨询销售工程师。
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