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UHP前驱体源瓶-BC系列
 
 
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材质:316L或特殊材质

氦泄漏率< 4.0 × 10°mbarL/S 。

温度范围:-50°C至+100°C。

表面处理:EP,Ra≤0.25μm

灌装介质:金属有机前驱体材料、硅基前驱体材料及其他高纯前驱体化学品

可装化学品纯度:99.9999%~99.9999999%

全自动轨道焊接技术确保罐体无焊接死角。

稳固的安全设计,所有型号的源瓶都经过破坏性压力测试和高空跌落测试。

与设备厂商充分合作,设计最佳输送管道尺寸和形状,所有管道路线与尺寸已针对饱和度和吞吐量进行了优化。

清晰的标签标识管理,便于安装。

最优产量优化设计,确保了工艺中有机金属化合物的最高收率为≥95%。

易于集成大多数现有的辅助系统和温度控制系统。

采用高质量材料及生产工艺,确保清洁、改装和重复灌装可轻松进行。


 

 

 

 

 

 

 

 

Volume(ML)

Part Number

A(mm)

B(mm)

C(mm)

D(mm)

E(mm)

测温孔

INLET & OUTLET PORT

100

BC-0100

76.2

145

50.8

83

13

VCR-M/F

200

BC-0200

133.4

145

50.8

83

13

VCR-M/F

500

BC-0500

139.7

145

76.2

83

13

VCR-M/F

1000

BC-1000

158.8

135

101.6

83

13

VCR-M/F

1200

BC-1200

184.2

135

101.6

83

13

VCR-M/F

2500

BC-2500

219.7

95.3(135)

168.3

83

13

VCR-M/F

4000

BC-4000

254

135

165.2

83

13

VCR-M/F

5000

BC-5000

304.8

135

165.2

83

13

VCR-M/F

8000

BC-8000

400

127

168.3

83

13

VCR-M/F

 
 
上一个:这是第一条,没有了
 
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