材质:316L或特殊材质 氦泄漏率< 4.0 × 10°mbarL/S 。 温度范围:-50°C至+100°C。 表面处理:EP,Ra≤0.25μm 灌装介质:金属有机前驱体材料、硅基前驱体材料及其他高纯前驱体化学品 可装化学品纯度:99.9999%~99.9999999% 全自动轨道焊接技术确保罐体无焊接死角。 稳固的安全设计,所有型号的源瓶都经过破坏性压力测试和高空跌落测试。 与设备厂商充分合作,设计最佳输送管道尺寸和形状,所有管道路线与尺寸已针对饱和度和吞吐量进行了优化。 清晰的标签标识管理,便于安装。 最优产量优化设计,确保了工艺中有机金属化合物的最高收率为≥95%。 易于集成大多数现有的辅助系统和温度控制系统。 采用高质量材料及生产工艺,确保清洁、改装和重复灌装可轻松进行。 |
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Volume(ML) |
Part Number |
A(mm) |
B(mm) |
C(mm) |
D(mm) |
E(mm) |
测温孔 |
INLET & OUTLET PORT |
100 |
BC-0100 |
76.2 |
145 |
50.8 |
83 |
13 |
有 |
VCR-M/F |
200 |
BC-0200 |
133.4 |
145 |
50.8 |
83 |
13 |
有 |
VCR-M/F |
500 |
BC-0500 |
139.7 |
145 |
76.2 |
83 |
13 |
有 |
VCR-M/F |
1000 |
BC-1000 |
158.8 |
135 |
101.6 |
83 |
13 |
有 |
VCR-M/F |
1200 |
BC-1200 |
184.2 |
135 |
101.6 |
83 |
13 |
有 |
VCR-M/F |
2500 |
BC-2500 |
219.7 |
95.3(135) |
168.3 |
83 |
13 |
有 |
VCR-M/F |
4000 |
BC-4000 |
254 |
135 |
165.2 |
83 |
13 |
有 |
VCR-M/F |
5000 |
BC-5000 |
304.8 |
135 |
165.2 |
83 |
13 |
有 |
VCR-M/F |
8000 |
BC-8000 |
400 |
127 |
168.3 |
83 |
13 |
有 |
VCR-M/F |
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